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来简单的了解一下光刻机工作的技术原理。当我们制作芯片的时候,电路图经过光刻机投放至底片(涂满光刻胶的硅片),光刻机不断蚀刻掉光刻胶,露出硅面之后做化学处理,不断反复的蚀刻,直到芯片制作完成。
这里面有两点要求较高,一个是光刻机的中心镜头,一个是光刻机的光源。
大家应该知道,ASML公司光刻机的镜头来自德国蔡司,光源由美国CYMER公司独家提供。光刻机的中心镜头对于镜头要求较高,需要高纯度透光以及高抛光,能够达到这一标准的公司并不多(光刻机工艺制程越高,要求也就越高)。
镜头的打磨对于匠人的技术要求等级较高,并非是工业化能够解决的问题,需要十几年甚至是上百年的技术沉淀。光刻机光刻机,对于光源的要求更是重中之重,需要体积小、功率高、稳定性强的光源(这也是制约我国光刻机向高端进军继续解决的难题)。
标签:深圳激光刻码机
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