自主研发的刻蚀机有哪些区别？

如果把在硅晶体上的施工比成木匠活的话，光刻机的作用相当于木匠在木料上用墨斗划线，刻蚀机的作用相当于木匠在木料上用锯子、凿子、斧子、刨子等施工。

　　（1）难易度：光刻机难度大，刻蚀机难度小

　　（2）原理：光刻机把图案印上去，刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案/无图的部分，留下剩余的部分。

　　（3）工艺操作不同，

　　虽然我国在光刻机设备上依然没有取得突破性的进展，但是我国也在刻蚀机设备已经成功取得技术突破。我国自主研发的第一台刻蚀机精度达到7nm，它的大小只有发丝的万分之一，接近微观加工的极限。

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