如果把在硅晶体上的施工比成木匠活的话,光刻机的作用相当于木匠在木料上用墨斗划线,刻蚀机的作用相当于木匠在木料上用锯子、凿子、斧子、刨子等施工。
(1)难易度:光刻机难度大,刻蚀机难度小
(2)原理:光刻机把图案印上去,刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案/无图的部分,留下剩余的部分。
(3)工艺操作不同
标签:深圳激光刻码机
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